多維精密運動平臺

微泓致力于多維精密運動平臺的研發與制造。根據客戶的應用需求，為客戶量身定制多維運動系統，微泓可以提供的成熟的系統解決方案：1）12吋晶圓的光學關鍵尺寸，薄膜厚度，光刻疊對測量中的四維精密運動平臺。2）12吋晶圓缺陷在線檢測的四維精密運動平臺。3）球面和非球面表面測量中的四維精密運動平臺。

多維機械手的運動學構型 kinematic Chains

◼ 2-DOF精密運動系統：HXY-龍門XY

◼ 3-DOF精密運動系統：HXY+Z-龍門XY+Z軸，HXY+C-龍門XY+C軸

◼ 4-DOF精密運動系統：HXY+Z+C-龍門XY+Z軸+C軸

2-DOF HXY精密運動平臺

3-DOF HXY+C精密運動平臺

3-DOF HXY+Z精密運動平臺

4-DOF HXY+Z+C精密運動平臺

2-4軸運動控制系統

微泓的潔凈室制造實力

◼ 100平米的萬級潔凈間，用于潔凈環境下的精密裝配、調試與測試。

◼ 公司擁有激光干涉儀，主軸分析儀等精密測試儀器，滿足系統設計過程中對定制系統的標定、精度測試和運動特性的測試要求。

◼ 專門針對運動定位系統的運動時不同敏感位置的顆粒檢測與潔凈度評估系統。

微泓的潔凈型運動解決方案

◼ 采用電纜管理系統，降低顆粒物的排放量。

◼ 專屬潤滑劑用于潔凈環境使用，不含碳氫化合物。

◼ 材料表面進行特殊處理。

◼ 專門的制造工藝，使運動系統達到最高的系統級潔凈度。

◼ 潔凈室級包裝。