UPM系統解決方案-上海微泓自動化設備有限公司

UPM系統解決方案

微泓®致力于應用在精密與超精密加工(Precision, ultra-precision machine) ，精密測量(Precision measurement)與精密操作(Precision manipulationg)的多維精密運動系統的研發與制造。微泓目前的UPM系統解決方案專注：1）半導體和泛半導體制造裝備領域，提供潔凈環境使用的多維精密運動平臺和傳輸機械手。2）2-3維精密轉臺，為光電傳感器、導彈導引頭、衛星傳感器、慣性導航制導單元提供多軸角度測試、校準、目標跟蹤與指向。

微泓能為用戶提供納米、微米以及微-納結合的運動與定位控制系統，包括標準化產品以及定制計劃產品（ETO,Engineer-To-Order）。